OVERVIEW
產品簡介
脆性材料切割設備
本設備用于脆性材料切割,采用隱切工藝,配備自主研發的高度跟隨系統,達到精準的切割深度,提升產品切割質量,從而提升產品良率,降低制造成本。
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脆性材料切割過程展示圖
ADVANTAGE
產品優勢
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單/多焦點自由切換,可以適應更多不同厚度的產品,兼容能力強,根據不同產品厚度對其進行切換
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可自由選擇單/多焦點加工模式
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自研激光器,長期工作穩定可靠
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一鍵自動化流程,無需人力介入
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具備高度跟隨響應自動跟隨補償技術
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殘片智能識別輪廓加工
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切割產品兼容4、6、8寸產品


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基本信息
- 設備尺寸:長2000mm × 寬2350mm × 高2100mm (不含EFU、輔助設備、 指?燈)
- 設備重量:2000Kg
- 加工類型:藍寶?、半導體材料、脆性材料
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產品性能
- 切割尺寸精度:<±2μm
- 設備良率:99.9%
- 切割錐度:<3°
- 切割外觀效果:無切割邊緣崩邊、掛角
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